- 名 称：Stararc反应离子LED刻蚀设备RIE
- 当前价格：1.00 元
- 最小订量：1
- 所 在 地：苏州市工业园区唯新路81号
- 发布日期：2012-05-25
- 有 效 期：2012-12-31
- 所属类目：LED光电设备 >> 其它设备/仪器
- 在线联系：
- 联系人：michael
先生
- 经营模式：生产型
Stararc反应离子LED刻蚀设备(RIE)技术优势
● 电源：射频1000W，固态自动匹配
● 反应气体：Ar，O2，最多可配置4路。
● 最大刻蚀速率：250A/min，刻蚀均匀性：±5%
● PLC加触摸屏全自动控制，抽速45m3/hr，水冷电极
典型应用
● LED芯片光阻去除
● 晶元清洗
● 有机物质去除，氧化物去除
● 反应离子刻蚀和离子刻蚀/清洗
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