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Plansee公司研制出和蓝宝石相同热膨胀系数的金属散热材料R670


添加时间:2012-05-30 | 返回首页
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  氮化镓基半导体层是生产蓝光谱芯片(包括白光LED)的最常用工艺,氮化镓层是通过在蓝宝石衬底上使用MOCVD这样的外延法生长出来的。蓝宝石散热性能较差,后期需要与GaN进行剥离。剥离前需要在高温下将散热性能良好的金属层和GaN层键合,这时,如果蓝宝石和金属层的热膨胀系数不同,就容易导致半导体外延层(GaN)的破裂。为防止出现这样的缺陷,理想的金属层应该具有和蓝宝石相同的热膨胀系数。

  钼是原来常用的金属材料,其导热性好且耐热,但是其热膨胀系数低于蓝宝石(Al2O3)的热膨胀系数。新研发出来的钼铜复合材料Mo-Cu R670具有和蓝宝石相同的热膨胀系数,其热导率为170W/mK,温度漂移6.7ppm/K。


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