摘要:本文采用不同的窗口层生长工艺生长了LED外延片,并详细研究了不同生长工艺对LED可靠性的影响。 关键词:MOCVD、AlGaInP、高亮度LED、LED可靠性
1 引言
随着外延技术的发展,特别是金属有机气相外延技术(MOCVD)的日臻完善和技术应用,以及半导体异质结材料和量子阱结构在发光器件中的应用,高亮度LED外延材料AlGaInP在九十年代有了突破性的进展,日本东芝公司以及美国HP公司先后研制成坎德拉级AlGaInP高亮度LED,我国在1998年研制成功第一只坎德拉级高亮度橙色LED,河北汇能公司于1999年研制出坎德拉级高亮度红、橙、黄LED,并首先在国内开始产业化生产,2004年OSRAM的发光二极管的效率达到108lm/W(614nm)。
尽管LED的寿命很长,但是还没有达到专家预测的10万小时,因而研究LED寿命与外延材料结构设计、外延材料生长工艺、与器件制作以及LED封装的关系尤为重要。我们通过对外延材料的生长工艺的优化改进、以及对LED可靠性的测试,进一步分析了LED可靠性与生长工艺的关系。
2 试验设备与测试仪器
外延材料的生长是在AIXTRON-2600G3设备上进行的,典型的LED生长结构如表1。衬底采用3英寸N+-GaAs衬底,晶向(100)偏(111)15°,生长材料采用常规的LED器件工艺,制成230μm×230μm的管芯,最后用环氧树脂封装成Φ5mm的LED,采用自己研制的老化台老化试验。功率测试计采用杭州远方公司生产的LED测试仪器。 |