政府政策支撑MOCVD真正走向国产化

    MOCVD作为半导体照明核心环节的外延片生长关键设备，也是制造环节中单项投资最大的设备。目前可以提供工业化生产MOCVD设备制造商有限，集中程度较高，主要在欧美和日本。

    当前，美国Veeco和德国Aixtron两家公司把持了全球MOCVD设备市场，二者在国际MOCVD设备市场上的占有率多年来连续超过90%，形成了寡头垄断的格局，同样也垄断了中国的MOCVD设备市场，其技术水平、规模效应、品牌效应、客户资源等都达到了相当的高度(如图6)。因此MOCVD设备很大程度上从成本、产量等方面制约了中国LED产业的健康快速发展。

    实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化，将是提升我国整个LED产业的技术及创新能力的历史转折点。正是由于国内MOCVD设备进口替代潜力明显，对产业发展意义重大，国家有关部门以及地方政府提出的多项为推动MOCVD国产化以及整个LED行业发展和产业结构优化升级的产业政策，对MOCVD设备行业产生积极的推动作用。

    中国MOCVD的技术开发始于20世纪80年代。1986年中科院上海冶金研究所自主研发出生长GaAs外延片的水平式MOCVD设备。自从1986年到现在，中国MOCVD国产化的工作一直在持续。“九五”计划期间，863计划就有对MOCVD的研发项目给予支持，此后的“十五”、“十一五”、“十二五”期间都有对于MOCVD研发的支持。

    支持我国半导体照明产业发展的《半导体照明节能产业规划》和《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》都明确提出在“十二五”期间将“实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化”。其中《半导体照明节能产业规划》更是将MOCVD确定为“提升LED照明节能产业的整体创新能力”的重要内容，进行“核心装备制造技术-多片式 MOCVD等生产型设备国产化关键技术”的研发，同时“着力推进核心装备的引进消化吸收和再创新，力争实现生产型MOCVD 设备量产。促进生产设备、工艺装备、检测设备制造商与材料工艺研究机构及用户间的合作。”

    从2010年到2013年，在短短3年多时间内，国内先后有近20家企业，依托不同的技术来源，加入到了生产型MOCVD设备的开发行列，从而使我国的MOCVD装备制造技术，进入到产业化初期。截至2013年底，涉足MOCVD设备研发的部分企业的产品已经进入生产线试生产。

    在具体的支持措施中，财政部发布了《2013年度电子信息产业发展基金项目指南》，其中专门设置“LED生产用关键装备(MOCVD)、新型衬底材料(图形衬底、碳化硅)研发与产业化”项目以扶持MOCVD国产化。2013年10月财政部《2013年度工业转型升级资金(电子信息产业发展基金)项目公示》显示，多家企业因MOCVD的研发和产业化而榜上有名，其中华灿光电已公告获政府600万元人民币补贴。

    除国家层面的扶持外，各地方政府也对MOCVD研发和产业化给与政策资金的支持。上海市经信委在《推进战略性新兴产业发展2011年工作总结和2012年工作要点》中强调要“重点推进中微、理想等MOCVD项目”，在《2013年工作要点》中再次强调要“推进MOCVD产业化”，相关企业也由此获得相应的资金支持。

    此外，广东、江苏、浙江、北京、江西等地方政府也针对MOCVD研发和产业化设立专项资金或予以项目支持。以天龙光电为例，其从事MOCVD研发的子公司已先后获得江苏省科技厅和上海市经信委各1500万元的专项资金。

    近年来，政府的重视和扶植，各类研发单位的广泛参与，以及投资机构的积极支持成为发展国产MOCVD的重要基础，这其中以企业为主体的产、学、研联合模式发挥了主要作用，同时传统半导体设备公司进入了LED关键设备产业，其在技术、人才、市场、管理等发面的优势也成为MOCVD真正走向国产化的强有力支撑。