美国Ball半导体公司与半导体生产设备厂商大日本科研,联合成立了无掩膜曝光机的开发、生产和销售合资公司。公司名称为“INDEX技术”,双方各出资1.2亿日元,另外日本半导体研磨切断设备厂商DISCO也计划出资3000万日元。社长将由大日本科研的社长冈本光三出任。
Ball半导体开发的无掩膜曝光机目前已经向材料厂商、显示器厂商、相关大学以及封装厂商等合计供货数十台。INDEX技术公司将继续这项业务,将从2006年第3季度开始生产并销售。标准设备价格方面,估计面向半导体厂商的为1亿~1.5亿日元,面向MEMS的为2000万~3000万日元。目标是2007年度实现约4亿日元的销售额。
无掩膜曝光机的开发和生产移交给新公司之后的Ball半导体“将重新回到原点,继续从事原来的球状产品业务”(日本分公司社长吉田政孝)。具体而言,将开发球状太阳能电池和传感器,最终目标是应用于半导体产品中。