电浆制程技术厂商STS(Surface Technology Systems plc)最近宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机(DRIE)已争取到德国自动化微机电系统(MEMS)设备制造大厂博世(Robert Gosch GmbH)的订单。
这也是Pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所接获的第五张重要订单。Pegasus系统将会安装在Bosch位于德国鲁特林根(Reutlingen)的晶圆厂，未来将用于多项研发计划中，开发新的MEMS设备。
据介绍，STS软件灵活性高，加上可直接手动控制的系统，让Bosch等制造大厂能完全提升个别制程的性能，确保产品质量与高良率。在MEMS市场中，设备设计经常随各个不同厂商而有显著差异。STS相信，该公司的设备足以因应广大客户群之不同需求。
除了Pegasus技术所能提供的制程优点以外，STS此次赢得Bosch青睐的另一主因，在于STS坚持并承诺在德国境内提供杰出的客户支持与服务。今年初，STS重新整顿并加强了位于乌尔姆(Ulm)之德国办公室的工作团队，并指派一位区域客户支持协调经理前往领导该团队。此位新任主管将会与德国地区的客户密切合作。
STS副董事长Mutsuo Mukuda表示：“Bosch这张Pegasus系统的订单对我们而言至关重要。这笔订单不仅代表我们在欧洲最重要、最大的四名客户之一采用了Pegasus系统，也加强了我们本身对Pegasus的信心。Pegasus为MEMS市场带来各种层面之技术加强与发展，例如高均匀性电浆源，能帮助提高蚀刻率更高，并大幅改善蚀刻均匀性，创造出更高的传送率与设备良率。我们对Pegasus满怀期待，希望这个系统能进一步带动MEMS市场的蓬勃发展。”
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