AIXTRON于2011年4月21日宣布其最新的MOCVD平台系统CRIUS II已经顺利完成安装调试投入生产,该设备的工艺稳定性、一致性和生产量均超过预期。首家客户为台湾南部的奇美集团。
CRIUS II易于调试,还可以转换为2英寸、4英寸或者6英寸晶圆的生产。和CRIUS相比,CRIUS II的生产能力从31 x2英寸提升为55 x2英寸或13 x4英寸,由于生产大尺寸晶圆是降低成本的关键,CRIUS II可以大大提高HB-LED的生产力并降低成本。另外,由于该系统特有的密封耦合喷洒反应腔技术,只需应用简单的大面积换算系数,现有CRIUS用户即可顺利转换成CRIUS II。